真空腔體加工的加熱方式分為內加熱和外加熱。外加熱是在腔體外加熱，熱量通過腔壁傳遞，熱量通過熱輻射傳遞；內加熱直接在真空腔內加熱。與內加熱方式相比，外加熱滯后，內加熱方式的溫度控制精度高于外加熱，所以一般我們會選擇內加熱方式。
加熱器的選擇也很重要，一般選擇安裝方便的扣板加熱板進行內部加熱。扣板加熱板表面為鏡面不銹鋼板，在平整度上比真空腔壁直接拋光更有利，更有利于熱輻射傳導。
真空腔體加工技術主要包括真空獲取、真空測量、真空泄漏檢測和真空應用。在真空技術的發展中，這四個方面相互推進。
隨著真空獲取技術的發展，真空應用日益擴展到工業和科學研究的各個方面。真空應用是指利用少有氣體的物理環境來完成一些特定的任務。有些是利用這種環境來制造產品或設備，如燈泡、電子管等。這些產品在使用過程中始終保持真空，而另一些只是將真空作為生產的一步，如真空涂層、真空干燥和真空浸漬。
真空腔體加工應用廣泛，主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應。
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