LOWE線腔體加工常用的清洗方法
1、放電清洗
放電清洗一般用于高真空、超高真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機資料、幾何形狀及其與外表的聯系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的除去.
2、氮氣清洗
氮氣清洗主要是利用了氮氣在資料外表的吸附熱小、吸留時刻短,容易被抽走的特性,用氮氣沖刷被污染的真空體系,同時搶占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空體系的抽氣時刻.
影響線腔體加工真空絕緣水平的主要因素
真空度閃現了空隙擊穿電壓和氣體壓強之間的聯系。由圖能夠看到真空度高于10-2Pa時，擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大，由于氣體分子碰撞游離現象已不復興效果。當氣體壓力從10-2Pa逐漸升高時(真空度下降)，擊穿強度逐漸下降，以后又隨氣壓的而。從曲線上能夠看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強度基本上堅持不變。這就標明，真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時能夠滿意正常的運用需求。
