真空腔體的加工應(yīng)考慮體積、材料和形狀。

2021-12-28 16:42:00

次

真空腔體加工

真空室是保持真空狀態(tài)的容器。真空腔體的加工應(yīng)考慮體積、材料和形狀。

高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料是不銹鋼。300系列不銹鋼(表1)為低碳鋼，含10%~20%Cr，具有良好的耐腐蝕性，排氣，無(wú)磁性，焊接性能好，電導(dǎo)率低，導(dǎo)熱能力強(qiáng)，可在-270~900℃工作。

真空腔體加工的焊接是制造過(guò)程中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。氬弧焊主要用于焊接，避免金屬與空氣中的氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響焊接質(zhì)量。氬焊是在靠近鎢極處噴射保護(hù)氣氬，防止其熔化后的高溫金屬氧化。

高空腔氬弧焊原理為內(nèi)焊，焊接面位于真空側(cè)，避免漏焊。真空室內(nèi)外不允許雙重焊接和雙重密封。

真空室內(nèi)壁加工過(guò)程中吸收大量氣體分子和有機(jī)物，成為影響真空度的放氣源。要獲得超高真空，要在150~250℃的高溫下進(jìn)行烘焙，以推進(jìn)材料表面和內(nèi)部氣體的快速釋放。所述烘焙方法為：在腔外壁上繞有加熱卷繞，將鎧裝加熱絲固定在殼體的外部壁上，或者直接將殼體放置在烤箱里。加溫時(shí)，在箱體中加入鋁箔，以防止熱損失，并均勻地增加熱腔。

真空腔體加工的烘焙過(guò)程中真空度會(huì)改變，而烘烤則是卷曲和加熱。真空度約為10~3Pa時(shí)，加熱帶開(kāi)始逐漸通電加熱，空腔在150℃下長(zhǎng)時(shí)間烘烤。關(guān)閉離子泵，加熱烘焙離子泵。此時(shí)，真空腔只經(jīng)過(guò)分子泵和前級(jí)泵。當(dāng)空腔溫度升高時(shí)，吸附器表面的氣體分子，如水汽，釋放量大，真空度急劇下降。隨著烘烤時(shí)間的延長(zhǎng)，氣體釋放量減少，真空度增加。停機(jī)時(shí)，切斷加熱帶電源和離子泵的烘烤電源，當(dāng)爐腔溫度上升時(shí)，排出氣鈦泵。鈦精泵除氣是指控制升華溫度Ti加熱時(shí)的Ti升華溫度。鈦級(jí)泵除氣處理的目標(biāo)是將吸附在Ti線表面的氣體分子和其他可能的污染物除去，從而保證泵的正常運(yùn)行。鈦升華泵脫氣后，啟動(dòng)離子泵和鈦精泵，強(qiáng)化真空排氣。隨排氣強(qiáng)度的增加，系統(tǒng)真空度迅速增加。

新型真空腔體加工一般要一周左右，可以適當(dāng)縮短重復(fù)烘烤時(shí)間。為了提高真空測(cè)量的精度，停爐后應(yīng)采用真空除氣。有充足的真空泵及充足的烘烤時(shí)間，可使烤制后真空度大大提高。

1cm2大氣壓約產(chǎn)生1kgf壓力，直徑20cm的法蘭壓力為1t。由于其結(jié)構(gòu)的特別性，在筒體和球腔內(nèi)壓力分散，腔壁厚度為2~4mm，不變形。方腔側(cè)板應(yīng)承受負(fù)荷壓力，增大壁厚或設(shè)置加強(qiáng)筋，以防止變形。方腔的重量一般大于圓柱、球腔，且成本高。

滄州領(lǐng)航嘉創(chuàng)真空設(shè)備有限公司歡迎廣大商家前來(lái)咨詢(xún)！