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真空腔體加工過程抽氣管的設計原則

2022-01-26 16:01:13

      真空腔體內抽氣管 的設計原則 。

      在為一個真空腔體加工 過程 選擇 真空泵 時,工藝 室和泵之間 的抽氣 管道 可能 和泵的選擇 一樣 重要 。 為了 使真空腔體 的抽氣 速率 達到 較高,需要 使用 直徑 盡可能 大的直線 抽氣 管道 (長度 短)和管道 。好像 很簡單 ,但是 這里有很多 因素 需要 考慮 。 事實上 ,如果我們從物理學 的角度 來看 ,我們可以明確 哪些 是關鍵因素 。

       在穩定 狀態 下,如果 抽氣 管道 中沒有 氣源 (泄漏 )或氣體 減少 (冷凝 ),抽氣 管道 任何 截面 的質量流量 要相同 。 簡單 來說 ,進入 工藝 室的氣體 要從泵出。

已知 氣體 摩爾 流量 為M(公斤 /摩爾 ),抽氣 速率 為S(立方米 /秒),壓力 為P(帕),溫度 為T(開爾文 ),質量流量計 算如下 :

      (公斤 /秒)=(M*P*S)

      Ro =通用 氣體常數。

      對于 大多數真空腔體加工抽氣 系統 來說 ,氣體 溫度 (T)在抽氣 管道 中不會 顯著 降低 ,并且 可以合理 假設 為恒定 。

      真空腔 閥固溶 及時效處理 。

       真空閥 固溶處理 :指將合金 加熱 到高溫 單相 區域 保持 恒溫 ,使過剩 相全部 溶解 到固溶體 中,然后 快速 冷卻 ,從而 獲得 過飽和 固溶體 的熱處理工藝 。 固溶處理 的目的 :主要是鋼和合金 的塑性 和韌性 ,真空閥 準備 沉淀 硬化 處理 。

      真空閥門的時效性 處理 :可分為 自然 及時性 和人工 及時性 兩種 。 自然 及時性 是將鑄件 放置 在露天 場地 半年 以上,然后 慢慢 形成 ,從而 除去 或減少 殘余應力 。 人工 及時性 是將鑄件 加熱 到550 ~650 ℃進行 去應力退火,比自然 及時性 節省時間 ,除去 殘余應力 。 一些 合金 淬火 形成 過飽和 固溶體 后,將其真空閥 期放置 在室溫 或稍高的適當 溫度 下,以提高 合金 的硬度 、強度 或電磁 性。 這種 熱處理工藝 稱為 及時處理 。


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