真空腔體是保持內部真空狀態的容器，真空腔的生產要考慮體積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統的主要結構材料。其中，300系列不銹鋼（表1）是一種低碳鋼，含Cr10%~20%。它具有優異的耐腐蝕性、低排氣率、無磁性、良好的焊接性、低導電性和低導熱性。它可以在-270~900℃工作，廣泛應用于高真空和超高真空系統中。
焊接是真空腔體加工生產的重要環節之一。氬弧焊通常用于完成焊接，以避免熔化的金屬和氧氣在大氣中發生化學反應，從而影響焊接質量。氬弧焊是指在焊接過程中將保護氣體氬氣噴射到鎢電極周圍，熔化后高溫金屬的氧化反應。原則上，超高真空腔的氬弧焊要采用內焊，即真空腔體加工焊接表面在真空一側，以避免死角和虛擬泄漏。真空腔不允許內外雙重焊接和雙重密封。
真空腔內壁表面吸附大量氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的排氣源。為了實現超高真空，應在150~250℃的高溫下烘烤腔體，以推進材料表面和內部氣體盡快釋放。烘烤方法包裹在腔外壁的加熱帶，固定在腔外壁的裝甲加熱絲，或直接將腔放入烘烤帳篷中。更經濟、更簡單的烘烤方法是使用加熱帶，然后用鋁箔包裹加熱帶，以防止熱量損失，同時使腔均勻加熱。
真空腔體加工腔體內抽氣管的設計原理。
在選擇真空泵時，工藝室和泵之間的泵管可能和泵的選擇一樣重要。使腔體泵。
當氣速達到較大時，需要筆直的排氣管(長度短)，并使用直徑盡可能大的管道?？雌饋砗芎唵?，但這里有很多因素需要考慮。事實上，如果我們從物理學的角度來考慮，那就是。
關鍵因素是什么？
在穩定狀態下，如無氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，則抽氣管的任何部分。
質量流量要相同。簡言之，進入工藝室的氣體要從泵出。
已知氣體摩爾流量為M(kg/摩爾)，抽氣速率為S(立方米/秒)，壓力為P(帕)，溫度為T(開爾)。
文)質量流量計算如下:
質量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數。
對于大多數抽氣系統來說，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著降低，可合理假設為恒定的， 在這種情況下，任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。
由于泵管的壓差是氣體流動的驅動力，可見壓力(P)要在工藝室內為高值，在泵入口處。為低值。由于我們假設通量恒定，真空腔體加工廠家可以看出抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。
