一些真空腔體加工過程會產生大量的灰塵，如果灰塵進入油封真空泵混合在泵油中，會加速泵腔部件的磨損，造成泵轉子和泵腔磨損損壞，堵塞油路或使泵無法運行，如果灰塵進入真空閥會使密封故障和泄漏，因此灰塵避免和過濾已成為提高真空腔使用壽命、提高生產率的關鍵問題，在灰塵真空系統中，使用灰塵過濾器。
當灰塵量較少時，泵油過濾系統可以過濾掉，但當灰塵量較大時，為了不損壞真空泵，使真空泵正常運行，應使用除塵器。真空腔體加工廠解釋說，常用的灰塵過濾方法如下：
(1)旋風離心式。進氣口和氣缸放置偏痛，灰塵隨氣流旋轉，由于離心效應，沉降在過濾器底部。
(2)油淋。在油泵的作用下，真空泵油從除塵器頂部高速噴射，油霧與上升氣流相互吸附，混合在氣流中的灰塵與油一起沉降到油池中。
(3)油濕介質粘附。灰塵粘附在氣流作用下用真空泵油浸泡的介質表面。常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質阻撓。利用介質的機械阻撓效果過濾灰塵。常用介質有金屬絲網、或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附。等離子體由真空中的氣輝放電組成，灰塵附著在等離子體上，在電場力的作用下被驅動到電極外觀。
(6)混合。將上述過濾形式組合形成混合過濾形式。
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