真空腔體加工主要包括真空采集、真空測量、真空泄漏檢測和真空應用四個方面。在真空技術的發展中,這四個方面相互推進。隨著真空采集技術的發展,真空應用已經擴展到工業和科學研究的各個方面。真空應用是指利用少有氣體的物理環境來完成一些特定的任務。有些產品或設備是利用這種環境制造的,如燈泡、電子管和加速器。這些產品在使用過程中始終保持真空,而另一些產品只使用真空作為生產過程中的步驟涂層、真空干燥和真空浸漬。
真空腔體加工應用廣泛,主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空。
真空腔體加工是一種保持內部真空狀態的容器。真空腔加工應考慮體積、材料和形狀。超高真空系統主要由不銹鋼制成。其中,300系列不銹鋼(表1)為低碳鋼,含Cr10%~20%。它具有優異的耐腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電性低、放氣率低、導熱性低等優點??稍?270~900℃工作,廣泛應用于高空和超高真空系統。為了減少腔體內壁的表面積,通常通過噴砂或電解拋光獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體通過電解拋光進行表面處理。
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